中商情報網訊:電子特氣是半導體制造的關鍵原材料,被稱為“芯片血液”。目前國內電子特氣第一梯隊的廠商已經具備規模生產能力,在細分領域產品具有一定優勢,但和國外龍頭企業相比還有較大差距,國產替代空間巨大。
一、電子特氣定義
電子特氣指的是工業氣體中附加值比較高的特殊用途氣體。與傳統工業氣體在純度和用途上有所區分。特種氣體的生產過程中涉及合成、純化、混合配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術,流程較為復雜。
電子特氣種類眾多,廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環節,被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”,決定了器件的最終良率和可靠性。電子特氣主要產品類別如下:
資料來源:中商產業研究院整理