中商情報網訊：光刻機作為芯片產業的核心裝備，有人稱它為“人類最精密復雜的機器”。同時，光刻機也被稱為半導體工業皇冠上的明珠。近日，國內光刻機產業鏈的企業之一，傳芯半導體公開宣布已經20余項EUV光刻機技術專利，加上此前在激光光源、工作臺、鏡頭等方面所取得的成果，國產EUV光刻機已取得了重大進展，或許數年后國產EUV光刻機就將量產。
一、產業鏈
從產業鏈來看，光刻機產業鏈主要包括上游設備及材料、中游光刻機生產及下游光刻機應用三大環節。光刻機技術極為復雜，在所有半導體制造設備中技術含量最高。主要涉及系統集成、精密光學、精密運動、精密物料傳輸、高精度微環境控制等多項先進技術，生產一臺光刻機往往涉及到上千家供應商。
資料來源：中商產業研究院
二、上游分析
1.配套材料
光刻膠是電子領域微細圖形加工的關鍵性材料，在半導體、LCD、PCB等行業的生產中具有重要作用。由于技術壁壘、認證壁壘較高，一直以來，我國光刻膠需求對外依賴度大。近年來，光刻膠在半導體工業、PCB、平板顯示等領域廣泛應用，市場規模逐年增長。數據顯示，我國光刻膠市場規模由2017年58.7億元增至2020年84億元，年均復合增長率為12.7%。中商產業研究院預測，2022年我國光刻膠市場規模可達98.6億元。
數據來源：中商產業研究院整理
2.核心組件
光刻機生產制造的技術要求極高，阿斯麥一臺光刻機包含了10萬個零部件，需要40個標準集裝箱才能裝下，涉及到上游5000多家供應商，比如德國的光學設備與超精密儀器，美國的計量設備與光源等。一臺光刻機的主要部件包含測量臺與曝光臺、激光器、光束矯正器、能量控制器等11個模塊。
資料來源：中商產業研究院整理
半導體激光器在各類激光器中擁有最佳的能量轉化效率，一方面可以作為光纖激光器、固體激光器等多種光泵浦激光器的核心泵浦源使用，另一方面，隨著半導體激光技術在功率、效率、亮度、壽命、多波長、調制速率等方面的不斷突破，半導體激光器被廣泛直接應用于材料加工、醫療、光通信、傳感、國防等領域。2020年，全球激光器市場規模達162億美元，隨著全球智能化發展，預計2022年全球激光器市場規模將達到184億美元。
數據來源：Laser Focus World、中商產業研究院整理
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