中商情報網訊：半導體設備是實現半導體制造工藝的媒介工具，在各個環節均發揮重要作用。近年來，半導體行業國產化進程進一步提速，且半導體設備環節業績比整體行業更具彈性。半導體設備國產化迎黃金浪潮，國產半導體設備正迎來更充沛的驗證試用、技術合作、進口替代機遇。
一、半導體設備定義及產業鏈
半導體專用設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備，屬于半導體行業產業鏈的支撐環節。在整個芯片制造和封測過程中，會經過上千道加工工序，細分又可以劃分出百種不同的機臺，占比較大市場份額的主要有：光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備、離子注入機、測試機、分選機、探針臺等。
半導體設備產業鏈中，上游為零部件和系統軟件；中游為半導體設備，光刻機、刻蝕機、離子注入機、涂膠顯影設備、氧化爐、CMP/CVD/PVD設備、質檢及電學檢測設備等；下游為半導體產品，主要包括分立器件、光電子器件、傳感器和集成電路。
資料來源：中商產業研究院整理
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