中商情報網訊：刻蝕機是芯片制造過程中的核心設備之一，刻蝕是利用化學或者物理的方法將晶圓表面附著的不必要的材質進行去除的過程。在刻蝕機中，閃電、極光也都是等離子體會轟擊在晶圓表面，將原子直接打出，或發生化學反應與晶圓上的材料形成新的化合物揮發，實現刻蝕。
一、產業鏈
刻蝕機產業鏈中，上游為刻蝕機的四大組成部分，主要包括預真空室、刻蝕腔體、供氣系統及真空系統；中游為刻蝕機的制造，刻蝕技術主要有兩種，傳統濕法刻蝕技術及現代干法刻蝕技術；下游為刻蝕機的應用，主要用來制造半導體器件、太陽能電池及其他微機械制造。
資料來源：中商產業研究院
二、上游分析
刻蝕機主要包括預真空室、刻蝕腔體、供氣系統和真空系統四部分。具體如下圖所示：
資料來源：中商產業研究院整理
如發現本站文章存在版權問題，煩請聯系editor@askci.com我們將及時溝通與處理。
2017-2027全球及中國家用美容用具行業深度研究報告
2017-2027全球及中國家用娛樂設備行業深度研究報告
2017-2027全球及中國家用辦公室家具行業深度研究報告
“雙循環”戰略專題：2021年中國醫藥行業市場現狀及發展前景預測分析
