中商情報網訊:半導體設備企業在工業中發揮重要作用,它們為芯片制造提供核心設備,決定芯片的制程水平與性能,進而推動電子信息產業發展,還廣泛應用于自動化生產、能源、汽車等多領域。
一、中國半導體設備行業上市公司整體情況
中國半導體設備產業鏈上游為零部件及系統供應環節,零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環、射頻發生器、機械臂等,核心子系統包括氣液流量控制系統、真空系統、制程診斷系統、光學系統、電源及氣體反應、熱管理系統、集成系統等;中游為各類半導體設備制造環節,主要包括光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備、真空鍍膜設備、清洗設備、離子注入設備、涂膠顯影設備、CMP設備、熱處理設備等;下游應用于半導體制造。
資料來源:中商產業研究院整理
代表性企業有北方華創、盛美上海、中微公司等。
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