中商情報網訊：半導體設備是集成電路產業鏈自主可控的核心環節，行業進入壁壘高，國際競爭激烈。近年來，中國半導體設備行業保持穩定增長，市場規模持續擴大，資本加速布局。據不完全統計，中國半導體設備行業上市公司達18家。
一、半導體設備產業鏈環節上市公司整體情況
半導體設備產業鏈上游為零部件及系統，零部件主要分為軸承、傳感器、反應腔噴淋頭等；核心子系統包括氣液流量控制系統、真空系統、制程診斷系統等。半導體設備上游代表上市企業有華亞智能、富創精密。
產業鏈中游主要包括光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備等各類半導體設備，代表上市企業有北方華創、長川科技、至純科技、中微公司等。
半導體設備產業鏈下游為半導體制造，包括富樂德、聯動科技、金海通等上市企業。
資料來源：中商產業研究院整理
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