2024年中國半導體設備產業鏈圖譜研究分析(附產業鏈全景圖)
來源:中商產業研究院 發布日期:2024-06-06 09:07
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中商情報網訊:我國在全球半導體中的產能份額持續增加,疊加終端需求復蘇、國內晶圓廠成熟制程招標采購推進,這些將促使半導體設備行業繼續在國產替代的大背景下延續高景氣。

一、產業鏈

中國半導體設備產業鏈上游為零部件及系統,零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環、反應腔噴淋頭、泵、陶瓷件、射頻發生器、機械臂等,核心子系統包括氣液流量控制系統、真空系統、制程診斷系統、光學系統、電源及氣體反應、熱管理系統、晶圓傳送系統、集成系統;中游為各類半導體設備,主要包括光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備、真空鍍膜設備、清洗設備、離子注入設備、涂膠顯影設備、CMP設備、熱處理設備等;下游應用于半導體制造。

圖片來源:中商產業研究院

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