MEMS傳感器也稱為微型電子機械系統(Micro-Electro Mechanical System):是指采用微電子和微加工技術將微微傳感器、微執行器及微結構集于一體的微型器件或系統。
相對于傳統機械,MEMS傳感器主要優勢體現在一是體積小,微型化程度高,最大不超過一個厘米,甚至僅僅為幾個微米,其厚度就更加微小;二是易于集成和實現智能化;三是采用以硅為主的材料,電氣性能、強度、硬度和楊氏模量性能優良;四是采用與集成電路類似的的生成技術,可大批量生產,成本低,使性價比大大提高。
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