中商情報網訊：?電子特氣?是特種氣體的一個重要分支，廣泛應用于超大規模集成電路（IC）、平面顯示器件（如LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業生產中不可或缺的原材料。
一、產業鏈
中國電子特氣上游為原料及設備，原料包括空氣、工業廢氣、液氧、液氮等，設備包括氣體分離設備、壓力容器設備、氣體純化設備、氣體壓縮設備等；中游為不同類別電子特氣，包括摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、發光二極管用氣、刻蝕用氣體、CVD用氣等；下游應用于集成電路、顯示面板、太陽能電池等領域。
圖片來源：中商產業研究院
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