中商情報網訊：電子特氣作為特種氣體的一種，在電子產品制程中廣泛應用于刻蝕、清洗、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等半導體材料的“糧食”和“源”。
一、電子特氣的定義及分類
電子特氣是指當氣體中的電子濃度非常高時，電子的自由程比氣體分子的自由程要短，導致氣體分子與電子之間的相互作用顯著增強，進而使氣體分子電離并形成的一種高度電離的等離子體。電子特氣具有高純度、穩定性、多樣性的特點，在電子工業中具有廣泛的應用。
電子特氣的類型繁多，每種類型都有其特定的用途和化學成分。
資料來源：中商產業研究院整理
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