精品報告
中商情報網訊：刻蝕機是重要性僅次于光刻機的半導體設備。當前，我國刻蝕機行業相對來說仍處于較為初級的發展階段，存在較大的發展潛力。
一、產業鏈
刻蝕機產業鏈上游為四大組成部分，包括預真空室、刻蝕腔體、供氣系統及真空系統；中游為刻蝕機的制造，分為濕法刻蝕及干法刻蝕兩種；下游應用包括半導體器件、太陽能電池及其他微機械制造等。
圖片來源：中商產業研究院
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